《表1 Ga2O3体单晶、外延薄膜及溅射层各元素结合能》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《β-Ga_2O_3体单晶X射线光电子能谱分析》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

/e V

但对于C1s，O1s，Ga2p，Ga3d的具体峰位，各科研单位的报道有所差别，根据现有报道的文献，对Ga2O3体单晶、外延薄膜及溅射层中各元素结合能数值进行了统计，各单位关于Ga2O3体单晶、外延薄膜及溅射层各元素结合能的测试结果如表1所示。可以看出测试结果基本接近，但溅射薄膜和外延层特征峰有双峰或多峰现象，如O1s的特征峰和Ga3d的特征峰，并且各个各元素结合能大小并不一致，略有漂移。为了进一步确定各元素结合能特征峰位及峰形，下面分别对β-Ga2O3晶体的Ga2p峰、Ga3d峰和O1s峰进行具体分析。