《表1 不同Ir复合衬底上外延单晶金刚石膜质量比较》
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通过对比目前实现异质外延衬底上金刚石的形核与长大机理、过程不难发现，Ir复合衬底是最适宜单晶金刚石生长的衬底，也是目前唯一报道的获得大尺寸大厚度单晶金刚石膜的衬底，具体结果比较如图4和表1所示.由图4可知，目前在Si（001）上制备的金刚石马赛克度/tilt最小为3.9°，在3C-SiC（001）衬底上制备的金刚石马赛克度/tilt最小为0.52°，Ir（001）衬底上制备的金刚石马赛克度为0.064°.换言之，Ir（001）目前是唯一在报道过程中实现了单晶金刚石制备的衬底，其他衬底外延的金刚石多为马赛克晶体或者高定向晶体.由表1可知，外延金刚石膜的马赛克度与金刚石的厚度密切相关，Schreck团队目前仍然保持着制备尺寸最大为92 mm厚度为1.6 mm的最优记录，尽管日本Sawabe团队已经通过横向外延过度生长工艺实现了金刚石膜厚度为100μm而马赛克度为0.064°的突破，但是大厚度大尺寸目前还未见报道.
| 图表编号 | XD00162215800 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.07.20 |
| 作者 | 王伟华、代兵、王杨、舒国阳、刘本建、赵继文、李一村、刘康、房诗舒、杨世林、杨磊、韩杰才、朱嘉琦 |
| 绘制单位 | 哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室、哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室、哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室、哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室、哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室、哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室、哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室、哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室、哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室、哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重 |
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