《表1 不同基底温度下的金刚石膜沉积参数》
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《大尺寸自支撑金刚石膜制备工艺及其红外透过性能研究》
本实验通过调节微波输出功率来研究沉积温度对金刚石膜生长的影响，具体沉积参数如表1所示。
| 图表编号 | XD00214569800 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.10.01 |
| 作者 | 杨国永、熊绍阳、鲁云祥、王博、易剑、江南 |
| 绘制单位 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所、中国科学院宁波材料技术与工程研究所、中国科学院宁波材料技术与工程研究所、中国科学院宁波材料技术与工程研究所、中国科学院宁波材料技术与工程研究所、中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
