《表1 HFCVD沉积金刚石的具体参数》

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《微观结构对纳米金刚石涂层WC-Co结合性能的影响》

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热丝与基体距离（df）约为13.2 mm。热丝温度由连接在热丝两端的电流电压控制，而基体表面温度（Ts）则由热丝温度（Tf）和df控制。沉积过程中热丝两端电压约为11.5 V，电流约为24.5 A，基体表面温度可由热电偶直接测得，为600～650℃，金刚石沉积时间为4 h，沉积气压为2 kPa，反应腔内气体的总流速为50cm3/min（标准状况下），各样品所用的沉积气氛参数如表1所列。