《表1 热丝CVD法金刚石涂层沉积实验工艺参数》

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《CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响》

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将经过前处理的基体放到样品台上，热丝与基体的距离设为5 mm，在沉积前，先进行热丝碳化工艺。在沉积实验过程中，固定金刚石涂层的沉积参数，如表1所示。总的沉积时间为240 min，沉积实验以样品台的旋转频率为变量，设置不旋转、每小时旋转1次、每30 min旋转1次、每15 min旋转1次等，分别记为1#、2#、3#和4#试样，样品台的旋转速率为3°/s，每次样品台顺时针旋转90°，所需时间为30 s，保持沉积工艺参数不变，分别进行金刚石涂层沉积实验。