《表1 Ti N涂层的沉积工艺参数》

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《不锈钢1Cr18Ni9Ti上TiN涂层冲蚀磨损行为的研究》

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实验采用不锈钢1Cr18Ni9Ti作为基体材料来制备涂层。基体表面经研磨并抛光至表面光滑无划痕，使待喷涂表面的表面粗糙度Ra小于0.1μm，再用丙酮擦拭基体表面并晾干，随后依次在盛有丙酮和酒精的不锈钢杯子中进行超声波清洗[14]。清洗完成后进行热风干燥处理并置于真空室内。采用多功能物理气相沉积设备（FLEXICOAT850）制备Ti N涂层，将真空室真空度抽至小于4×10-3Pa。然后将沉积室加热至450℃，用氩气离子轰击清洗20min。清洗完毕后通过调节基体偏压和靶电流来进行涂层制备，Ti N涂层的沉积工艺参数如表1所示。