《表3 Ti AlCrN涂层制备工艺参数》

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《耐热钢表面TiAlCrN/NiCrAlY涂层的制备和热震性能》

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采用纯度为99.99%的Al、Cr、Ti独立靶材制备TiAlCrN涂层。通过调整各个靶材的电弧电流实现对涂层中元素比例的控制，以实现更好的涂层成分结构。TiAlCrN涂层的沉积参数如表3所示。