《表3 AlCrN/VN涂层表面粗糙度、厚度与调制周期》

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《AlCrN/VN多层涂层力学性能及其热稳定性》

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为进一步确认涂层表面的状况，采用AFM对Si基底上的涂层表面进行粗糙度测量，测量面积为5×5μm2，结果如图3。图中可以看到的大量凸起的部分为表面颗粒。5 r/min涂层的表面较为光滑。粗糙度Ra结果列在表3中，可以看出，调制周期对涂层的粗糙度影响不大，5 r/min涂层表面粗糙度最小，为33.6 nm。图4为沉积涂层截面形貌，图4b中可以发现VN过渡层，涂层截面致密，没有柱状晶存在。从截面测量涂层厚度，大致在3.6～4.0μm左右（具体数值见表3），可见转速对于涂层厚度影响不大[18]。计算得到不同转速（1～5 r/min）涂层对应的调制周期分别为120、66、40、33、24 nm。