《表2 不同转速沉积AlCrN/VN涂层的化学成分》

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《AlCrN/VN多层涂层力学性能及其热稳定性》

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表2所示为EDS所测定的沉积涂层成分，成分数值为随机点多次检测的平均数据。由表可知，所有涂层的化学成分类似，主要为Cr 8.0%、Al 16.2%、V30.5%以及N 45.1%（此值为5种涂层各个元素化学成分的中间值），可知涂层的成分主要为Al、Cr、V、N，且转速对于涂层化学成分几乎没有影响。图1为不同调制周期涂层（不锈钢基底）的X射线衍射图谱。由图可知，不同调制周期涂层均具有6个特征峰，其中两个特征峰为基底特征峰（用S标出），其余4个特征峰为涂层信号，对应的衍射角（37.3?、43.5?、63.7?、76.1?）为涂层相衍射峰，其中37.3?以及43.5?处衍射峰为AlN、CrN以及VN重合衍射峰，对应的晶面分别为（111）、（200），其他两个衍射峰对应（220）与（311）晶面。在转速为1、2、3 r/min时，涂层择优取向为（200），当转速继续增大时，涂层择优取向转向（111）晶面，其原因在于面心立方晶体（111）晶面具有更小的内应力。随着转速的增加，衍射峰逐渐宽化，这是由涂层内部晶粒尺寸细化导致的[15]。