《表1 钽涂层沉积条件：多孔泡沫炭上钽涂层的化学气相沉积制备与表征》

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《多孔泡沫炭上钽涂层的化学气相沉积制备与表征》

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实验中采用转子流量计控制反应气体流量，电阻炉加热氯化室至氯化温度，并用铂铑热电偶进行温度的测量。由于多孔泡沫炭质轻，密度小，无法感应加热，故本实验中采用石墨助感的方式使泡沫炭材料基体达到实验所需的温度。实验中钽的氯化温度、氯气流量、氢气流量、沉积温度等参数根据前期研究的经验值选取，进行一次性沉积，具体沉积条件由表1所列。