《表1 沉积金刚石涂层刀具的参数》

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《金刚石涂层刀具的制备及其切削性能研究》

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金刚石薄膜的制备在特制的热丝化学沉积装置中进行，热丝化学气相沉积系统如图1所示。进入到真空反应室中的氢气和丙酮气体在热丝的作用下分解为含碳基团，刀具通过夹具的夹持放置在样品台上，含碳基团在特定的反应条件下沉积在刀具表面形成薄膜，样品台内部循环水起到冷却降温的作用，反应后的气体通过真空泵由出气口抽出。整个反应过程中热丝的温度保持在2 000℃左右，刀具顶端表面的温度保持在850℃左右，刀具顶端与热丝的距离为10 mm。沉积金刚石涂层刀具的参数见表1。