《表3 正交试验设计：微细硬质合金刀具沉积金刚石薄膜的形核研究》

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《微细硬质合金刀具沉积金刚石薄膜的形核研究》

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正交试验设计方法是广泛应用于各领域研究的多因素多水平试验，是一种常用的科学研究方法，可有效降低试验次数，减小工作量[13-14]，因本试验研究所需的试验参数较多，且合理水平未知，故选择正交试验设计方法，提高效率。在化学气相沉积金刚石过程中，沉积温度、碳氢比（n （CH4）/n（H2）） 以及反应气压是比较重要的几个参数。因此，在研究形核阶段的生长情况时，同样选取这三个参数进行了正交试验设计。试验中，以热丝功率代替沉积温度，具体参数设计如表2和表3所列。