《表1 实验参数：Si含量对AZ31镁合金表面类金刚石薄膜机械性能影响》

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《Si含量对AZ31镁合金表面类金刚石薄膜机械性能影响》

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实验材料选用AZ31镁合金，其中Al的质量百分比为2.5%～3%；Zn的质量百分比为0.7%～1.3%；Mn的质量百分比为0.2%；其余为Mg。试样从块状的AZ31镁合金上切割加工，尺寸为20 mm×10mm×5 mm。使用金相砂纸将试样依次打磨至2000#，然后用金相研磨膏抛光。将抛光完成的试样放入无水乙醇中进行超声波清洗20 min，取出吹干并放入真空室内，真空室内壁用铝箔纸包围以确保真空室内不被污染。待样品放好后，将真空室内压力调为2.0 m Pa，此时打开加热炉并升温至100℃，除去真空室内的水蒸气，再向真空室内通入100 m L/min（标况）的氩气20 min，以除去未被排出的空气。设置脉冲电源频率为1 200 Hz，脉冲宽度为20μm，最大保护电流为200 A。用3000 V的脉冲偏压清洗试样表面20 min，除去镁合金表面的氧化层。清洗完成后，将各项参数调至实验所需的工作状态，并通入工作气体氩气、乙炔及四甲基硅烷。具体实验参数见表1。