《表3 基底的力学性能：基底对类金刚石薄膜组织性能的影响》
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采用NanoIndenterG200纳米压痕仪对薄膜的硬度和模量进行测试。在镀膜之前，采用相同参数测得基底硬度及其弹性模量见表3和表4。
| 图表编号 | XD0077557800 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.07.20 |
| 作者 | 陈雪娇、周艳文、徐振、张晶、张豫坤、徐帅、陈星宇 |
| 绘制单位 | 辽宁科技大学表面工程研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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