《表2 维氏硬度：不同比例钛掺杂对类金刚石薄膜性能的影响》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《不同比例钛掺杂对类金刚石薄膜性能的影响》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

由NanoIndenter XP纳米压痕仪测得的DLC及TiDLC涂层的显微硬度见表2，少量的掺杂金属主要以非晶的纳米团簇形式镶嵌于无定形碳网络间隙中，会使薄膜的硬度降低，当钛的掺杂含量达到8.5%时，薄膜中开始出现硬质颗粒，因此硬度值有所回升，但依然未达到无钛掺杂时的薄膜硬度，但随着钛元素的进一步增加，DLC膜一部分转化成Ti-C膜，薄膜的硬度继续下降，当掺杂含量达到18.0%时，硬度降至2600 HV。