《表1 不同Sn、Mg掺杂比例ZnO薄膜的厚度、在可见光区域的平均透过率及禁带宽度》

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《Sn掺杂量对Sn-Mg共掺杂ZnO薄膜光电性能的影响》

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为了了解Sn-Mg共掺杂对薄膜光学性能的影响，测量了薄膜的透光率，并在图4中给出了结果．所有的样品在可见光区域中显示出80%和90%之间的高透过率，并且在大约350nm的波长区域中出现尖锐的吸收边缘．此外，样品的吸收边在Mg掺入之后是蓝移的，Sn掺杂以后进一步的蓝移，然而随着Sn浓度的增加，吸收边又出现红移．通过透射光谱可以确定吸收系数和带隙能量．光学吸收法是计算一些光学参数最直接、最简单的方法，用来测定薄膜的光学带隙．带隙能量EG值在表1中给出．明显可以看出，带隙能量值从3.350eV增加到3.651eV．当Sn掺杂量为0.004时，所制备的薄膜质量最好．