《表1 试验工艺参数表：基底对类金刚石薄膜组织性能的影响》
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在正式开始镀膜之前，首先通入40min的四甲基硅烷（40sccm），再通入20 min的四甲基硅烷（20sccm）、乙炔（20sccm）一起打底，工艺参数见表1。
| 图表编号 | XD0077557700 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.07.20 |
| 作者 | 陈雪娇、周艳文、徐振、张晶、张豫坤、徐帅、陈星宇 |
| 绘制单位 | 辽宁科技大学表面工程研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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