《表2 c-Al2O3基底金属钒热氧化法制备氧化钒薄膜的工艺参数》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《光诱导氧化钒薄膜原位太赫兹波调制特性研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

采用DPS-III型超高真空磁控溅射镀膜机制备金属钒膜，再通过AG-610型快速热处理系统对上述溅射沉积的金属钒薄膜进行氧化处理，从而形成氧化钒薄膜。制备工艺条件分别如表1和表2所示。