《表1 制备工艺参数：氟-氧化物复合薄膜的特性研究》
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表1为单组分的SiO2、YF3、TiO2薄膜对应沉积时的工艺参数.在阻蒸和电子枪两个蒸发源同时工作制备复合膜层时，也采用表1的制备参数.
| 图表编号 | XD00147961700 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.08.01 |
| 作者 | 师云云、徐均琪、苏俊宏 |
| 绘制单位 | 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室、西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室、西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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