《表2 Raman光谱数据拟合结果》

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《Si含量对AZ31镁合金表面类金刚石薄膜机械性能影响》

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拉曼光谱的拟合结果详见表2。随着薄膜中Si含量由0增加至15%，G峰的半高宽从145 cm-1逐渐增长至166 cm-1，ID/IG的比值也由1.83逐渐减小至0.69。对于G峰的半高宽和ID/IG的比值可以被认为是膜层内部sp2团簇大小的体现[11]。无Si的DLC薄膜具有最小的G峰半高宽和最大的ID/IG的比值，表明其比含Si的DLC薄膜含有更大的石墨团簇尺寸，且随着膜层中Si含量的增加，G峰半高宽越来越大，ID/IG的比值越来越小。通常情况下ID/IG的比值越小，说明膜层中含有的sp3键合结构越多。因此，可以发现，Si的掺入会减小DLC薄膜中sp2团簇尺寸，并获得更多的sp3键合结构，进而使DLC薄膜无序度升高，膜层性能发生改变。