《表1 Raman拟合数据》

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《沉积偏压对含氢类金刚石薄膜机械性能影响机制研究》

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许多文献[4，5，16-18]报导了不同的Raman数据处理方式，如拟合双峰、三峰和四峰等。大多数研究倾向使用双高斯分峰方法解析Raman光谱，Ferrari等[17]提出BWF加洛伦兹双峰拟合法也被广泛用于Raman分峰。Tamor等人[18]报导双高斯拟合峰已经足够解析Raman光谱，无需再利用其他更精确的线形拟合函数来对Raman光谱进行研究。实际上只要用相同的拟合程序处理整组数据，尽管最后结果可能会有一定误差，但是拟合结果反应的整体趋势是相同的[5]。本文采用双高斯分峰拟合处理图2中532 nm可见光Raman光谱原始数据，拟合后的结果如表1所示，拟合后曲线如图3所示。随着脉冲偏压的升高，G峰峰位右移，I（D）/I（G）增加，FWHM(G）先增加后减小，在2400 V时增加至最大值，为175.95 cm-1。