《表1 拉曼光谱分析Tab.1 Raman spectrum analysis result》

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《反应气体流量比对PECVD类金刚石薄膜机械性能的影响》

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从表1可看出，随着C2H2流量的增加，ID/IG比率下降，但D峰与G峰的波数没有显著变化，表明薄膜中sp3键的含量增加。在R为3:1时薄膜的sp3键含量最多，是由于乙炔气体在混合气体的比例增加，氩气对乙炔气体离化的促进作用逐渐增强，乙炔离化率增大，粒子能量增大导致沉积能量增大，从而sp3键含量增多；当R达到最大4:1时ID/IG增大，是由于乙炔在此时的通量为80 m L/min时，辉光放电电解出的C原子含量最高，沉积过程中可能产生石墨化趋势，sp2/sp3比值增大。