《表3 不同掺Si量制备的DLC薄膜机械性能结果》

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《Si含量对AZ31镁合金表面类金刚石薄膜机械性能影响》

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为了进一步分析成分对DLC薄膜机械性能的影响，将不同掺Si量制备的DLC薄膜的机械性能汇总为表3。可以发现，随着膜层中Si含量的增加，薄膜与基体的结合力出现了先增大后减小的趋势。当膜层中Si含量为2%时，薄膜的结合力最大为9.5 N。这是由于膜层中Si含量的改变使膜层的结构发生了变化，导致薄膜性能的改变。从拉曼光谱的分析中可以发现，膜层中Si含量为2%时，膜层中sp2团簇尺寸减小，数量增多。另外，当膜层中Si含量为2%时，硬度/模量（H/E）的比值最大为0.123 5。H/E的比值越大，表明膜层的承载能力越强、韧性越高，能承受较高的外力，这些都有利于膜基结合力的提高。