《表1 不同射频功率下制备的DLC薄膜的原子含量》

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《射频功率对DLC薄膜结构和力学性能的影响》

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用SEM搭载的能谱分析仪（EDS）研究了薄膜的元素含量，表1是不同射频功率下制备的DLC薄膜各元素含量。可见，薄膜中C原子含量随射频功率的增大呈现增大的变化趋势，这是由于较大的射频功率刻蚀薄膜中的一些弱结合，薄膜中链接比较稳定的C-C结合相对比例增加，从而薄膜中碳元素含量增加。薄膜中的氧成分来自真空室残留的大气和薄膜测试前吸附的氧。