《表2 不同脉冲偏压下DLC薄膜的硬度与I(D)/I(G)》

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《沉积偏压对含氢类金刚石薄膜机械性能影响机制研究》

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不同脉冲偏压下DLC薄膜的硬度与I（D）/I（G）如表2所示。随着脉冲偏压的升高，I（D）/I（G）增大，G峰向高波数偏移，sp3含量减少，硬度应该降低，但实验数据表明I（D）/I（G）越大，硬度越高。Damasceno等[9]报导了同样的现象，硬度随I（D）/I（G）的减小而减小。这是因为氢的加入导致sp3C-H键出现，从而令薄膜机械性能降低。