《表3 不同DLC薄膜的拉曼光谱拟合结果》

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《镍基涂层/碳基薄膜复合体系磨蚀行为》

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为了进一步分析3种薄膜在5%H2SO4溶液中摩擦后的石墨化程度，对磨痕做了拉曼光谱分析（图11所示）。3种薄膜磨痕处ID/IG及G峰峰位如表3所示。从图11可知，摩擦后DLC薄膜的ID/IG值均有不同程度降低，说明DLC薄膜中sp3杂化键含量升高。这是因为在H2SO4溶液中，被石墨化的DLC磨屑不会转移至对磨副表面，而是随着摩擦溶解于腐蚀介质中，磨屑中含有较高比率sp2杂化键的石墨结构，故磨痕表层sp3杂化键的相对含量升高。增加Ni60C涂层后，ID/IG值的减小幅度均小于单层DLC薄膜，说明加入Ni60C层能一定程度地减缓sp3向sp2的转化进程，减小了薄膜石墨化程度，提高了薄膜耐磨蚀能力。