《表2 不同功率下制备的DLC薄膜显微硬度测试数据》

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《射频功率对DLC薄膜结构和力学性能的影响》

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式中F为实验力，D为菱形压痕对角线长度的平均值，可得到不同功率下制备DLC薄膜的维氏硬度HV，如表2所示。DLC薄膜的硬度随功率增大，当功率为200W时为1038.26MPa，然后又减小，这与FTIR谱得到的结果吻合。类金刚石薄膜在制备功率在200W以下时sp2和sp3杂化中，sp3含量高，其性能也就更偏向于金刚石，此时薄膜具有较高的硬度。