《表3 不同溅射功率下制备的薄膜厚度和表面粗糙度Tab.3 Thickness and surface roughness of AZO thin films prepared at differen

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《共溅射法制备AZO薄膜及其光电性能的研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

从表3可以看出，随着溅射功率的增大，薄膜厚度小幅度增加，这是由于随着溅射功率的增大，溅射出来的粒子会增加，从而导致薄膜厚度小幅度增加。从表3可以看出，薄膜表面粗糙度先减小后增大，溅射功率为18 W时，薄膜表面粗糙度最小，Al溅射功率从18 W继续增大时，薄膜粗糙度开始小幅度增加。过量掺杂会影响薄膜的结晶质量，从而导致薄膜表面粗糙度增加。