《表1 不同偏压下Ti CN薄膜的成分和厚度Tab.1 Composition and the thickness of Ti CN films at different bias》
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各偏压下的薄膜的元素成分和厚度见表1，本研究中不同偏压下沉积薄膜所用的时间相同，所以薄膜的厚度可以反映其沉积速率。
| 图表编号 | XD004120300 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.09.20 |
| 作者 | 刘恋、石倩、代明江、匡同春、林松盛、郭朝乾、李洪、苏一凡 |
| 绘制单位 | 华南理工大学材料科学与工程学院、广东省新材料研究所、现代材料表面工程技术国家工程实验室、广东省现代表面工程技术重点实验室、广东省新材料研究所、现代材料表面工程技术国家工程实验室、广东省现代表面工程技术重点实验室、广东省新材料研究所、现代材料表面工程技术国家工程实验室、广东省现代表面工程技术重点实验室、华南理工大学材料科学与工程学院、广东省新材料研究所、现代材料表面工程技术国家工程实验室、广东省现代表面工程技术重点实验室、广东省新材料研究所、现代材料表面工程技术国家工程实验室、广东省现代表面工程技术重点实验 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
