《表1 离子镀Ti Cr Al CN薄膜的工艺参数》

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《多弧离子镀TiCrAlCN薄膜及其微观结构与摩擦学性能研究》

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4Cr5MoSiV1钢试样的直径为25 mm，高5 mm，依次经丙酮、酒精、超声清洁除油后放入工业型多弧离子镀设备中。TiCrAlCN薄膜为Cr/TiAl/TiAlN/TiCrAlCN多元多层和梯度化设计，由4个部分组成:首先是300 nm厚的金属Cr打底，100 nm厚的TiAl薄膜作为第一过渡层，200 nm厚的TiAlN薄膜作为第二过渡层，最后制备TiCrAlCN薄膜（6～15μm）。TiCrAlCN薄膜的镀膜工艺参数见表1。