《表2 Cr N,Ti N,Al Cr N和Al Ti N氮化涂层的性能参数》

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《AlN系硬质薄膜研究的现状和进展》

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本文将从硬度、耐磨性能、抗高温氧化性、热稳定性、涂层附着力以及光热性能等方面对Al N系硬质薄膜进行介绍，并对如何提高Al N系硬质薄膜的相关特性进行讨论和展望，表2为几种常用的磁控溅射法制备的氮（N）化物硬质薄膜的性能参数[11]。