《表1 不同N2流量条件下制备的Cr Ti Al N涂层的成分及厚度》

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《N_2流量对车用钢表面磁控溅射CrTiAlN涂层性能的影响》


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不同N2流量下制备的涂层的厚度及元素组成见表1。从表1可知,随着N2流量的降低,涂层的厚度也逐渐降低,Cr元素含量也随之下降,而N元素含量则逐渐增大。