《表2 Al Ti Cr N涂层的性能测试结果》

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《YT30刀具表面磁控溅射AlTiCrN涂层的微观组织及摩擦性能》

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本文系统分析了沉积功率、沉积时间对涂层性能的影响，具体参数如表1所示。按照设定的涂层制备工艺，通过射频磁控溅射方法在YT30刀具表面制备得到Al Ti Cr N涂层，之后对Al Ti Cr N涂层的硬度、粗糙度、结合力以及膜厚等各项参数进行了测试，得到如表2所示的测试结果。