《表3 Cr/Cr N/Cr Al N涂层工艺参数》
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《磁控溅射Cr/CrN和Cr/CrN/CrAlN涂层的抗高温氧化性能》
在Cr Al N涂层的制备过程中，关闭Cr靶，开启Cr0.35Al0.65合金靶，通入氮气。逐渐增大偏压，制备6层Cr Al N涂层，Cr/Cr N/Cr Al N涂层厚度约2.8μm。制备方法的具体工艺参数如表3所示。
| 图表编号 | XD00219213100 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.02.23 |
| 作者 | 宋肖肖、李柯、赵婕宇、董艇舰、胡登科、陈亚军 |
| 绘制单位 | 国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心、国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心、航天精工股份有限公司、国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心、国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心、国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心 |
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