《表1 Ti Al N涂层的沉积参数》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《占空比对多弧离子镀TiAlN涂层表面形貌和性能的影响》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

利用JSM-6490LA型扫描电子显微镜对Ti Al N涂层的表面形貌进行观察分析；利用能谱分析对涂层表面进行元素成分分析；利用电阻高温氧化炉对已镀膜的试样进行800℃高温抗氧化实验，每隔30 min称量质量一次，转换出其氧化速率；Ti Al N涂层的膜基结合力采用WS-2005涂层附着力自动划痕仪进行检测，加载载荷50 N，加载速度50 N/min，划痕长度4 mm；利用日产仪器岛津XRD-6100，试验条件为Cu靶Ka射线，波长0.154 06 nm，电压36 k V，电流20 m A，扫描范围20°~90°，步长0.02，扫描速度4（°）/min的射线进行Ti Al N涂层的物相分析。