《表2 涂层沉积参数:TaC含量对Ti(C,N)-18%Ni金属陶瓷基体及其CVD涂层组织、性能的影响》

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《"TaC含量对Ti(C,N)-18%Ni金属陶瓷基体及其CVD涂层组织、性能的影响"》


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获得的试样条经过抛光、清洗、干燥等工艺之后,利用化学气相沉积技术对金属陶瓷基体涂层。涂层沉积顺序是TiN/TiCN/Al2O3/TiN,具体工艺参数见表2。