《表2 不同偏压Ti Al Si N涂层的磨损试验数据》

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《电弧离子镀偏压对TiAlSiN涂层结构及性能的影响》

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偏压为50 V时，如图8a所示，磨损过程中涂层脱落的颗粒在磨损轨迹中被压碎，小颗粒在涂层摩擦副之间持续滑动形成犁沟，当较硬磨粒压入致密性较差的涂层时，在压应力作用下甚至会产生裂纹，从而导致涂层成块脱落。偏压为75～150 V时，涂层的内部致密度较好，磨损过程中没有成块脱落迹象，磨损形貌中主要存在颗粒在表面压入与粘着的痕迹[25]。