《表2 Cr Ti Al N涂层的硬度以及干摩擦结果》

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《N_2流量对车用钢表面磁控溅射CrTiAlN涂层性能的影响》


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图3为不同N2流量下制备的Cr Ti Al N涂层试样的磨痕形貌。磨痕都呈现出明显的“犁沟”状。N2流量下降后,Cr基氮化物与N含量都开始增大,同时涂层的表面硬度以及涂层与基体间的结合力都开始上升。当N2流量为60 m L/min时,得到的涂层能够对表面磨粒磨损情况起到最佳改善效果,此时磨痕的“犁沟”深度与宽度都减小,耐磨性得到显著提高。