《表2 Al Cr N涂层的力学性能》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《脉冲电源占空比对电弧离子镀AlCrN涂层结构和性能的影响》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

涂层与基底的结合力对涂层的服役寿命起到重要作用。图7为不同占空比下Al Cr N涂层的结合力Lc的变化图。随着占空比的增加，涂层的结合力呈现先增大后减小的趋势。涂层的结合力与涂层的结构、残余应力和膜基硬度差相关[9]。占空比较低时，涂层中的孔隙较多，脆性较大，硬度也较低，因此膜基结合力较小，仅为20 N；随着占空比的增加，涂层的致密度提高，硬度也增加，结合力增加，在占空比为25%时，涂层的结合力最大，为83.7 N；进一步提高占空比，由于涂层的致密度和硬度下降，膜基结合力降至33.9 N。涂层的韧性可以用H/E表征，该比值越大，涂层的韧性越好[28]；H3/E2值与涂层塑性变形抗力成正比[29]，H3/E2值越大，涂层的结合力就越高[30]。由表2可知，涂层的韧性和抵抗塑性变形的能力也呈现先增加后减小的趋势，这与涂层的结合力测试结果一致。占空比为10%的涂层孔隙较多，韧性较低，涂层塑性变形抗力较差，导致涂层在较低加载力下开裂剥落；占空比为25%的涂层较为致密，韧性较高，塑性变形抗力较好，可以承受较高的载荷而不破裂[18，31]。