《表4 Ti0.5Al0.5N和Ti0.33Al0.67N涂层临界载荷和CPRs》

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《Al含量对Ti_(1-x)Al_xN涂层组织结构、力学性能和铣削性能的影响》

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由于TiAlN涂层为塑性涂层，因此临界载荷的确定以Lc1和Lc2为准。图5为划痕实验的形貌分析，图6为声发射信号曲线。可以看出，声发射信号在Lc1处急剧上升，说明涂层首次出现裂纹，而Lc2处声发射信号逐渐下降，说明此时涂层已经逐渐从基体表面剥离。Ti0.5Al0.5N和Ti0.33Al0.67N涂层的各临界载荷值见表4，可以看出，Ti0.33Al0.67N涂层的Lc1大于Ti0.5Al0.5N，说明Ti0.33Al0.67N涂层具有更好的抗裂纹能力，且Ti0.33Al0.67N涂层的Lc2也大于Ti0.5Al0.5N，说明Ti0.33Al0.67N涂层的膜基结合力较好。