《表3 Cr1–xAlxN薄膜的临界载荷及CPRS》

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《电弧离子镀Cr_(1–x)Al_xN硬质薄膜的成分、结构与性能》

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图8为划痕测试过程中摩擦力随法向载荷的变化曲线，图9为4组Cr1–xAlxN薄膜的划痕形貌。两者结合，可以得到裂纹刚开始出现的低临界载荷LC1及膜基分离时对应的高临界载荷LC2，具体数值如表3所示。