《表1 3种曲率半径压头下2种薄膜的划痕载荷范围》

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《压头曲率半径对硬质薄膜结合力划痕测量影响的比较研究》

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试验所用3个压头的标称曲率半径分别为:20μm、50μm、100μm。划痕长度1 mm，划痕速度2 mm/min，重复5次测量统计数据。3种型号压头下对2种薄膜划痕测量的法向加载范围见表1所示。实验在千级洁净室中进行，实验温度为20℃±0.5℃，相对湿度为50%。