《表2 Ta N涂层的力学性能和磨损率》

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《汽车用316L不锈钢表面磁控溅射TaN涂层组织及耐磨性能分析》

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表2给出了不同N2流量下316L不锈钢表面磁控溅射Ta N涂层的纳米压痕测试结果。可以发现，随着N2流量升高，涂层内N掺杂浓度越高，使得涂层的硬度与弹性模量都增大。此外，从表2还可发现，经过N掺杂的涂层的H/E也明显提高，从而使涂层的耐磨性更优。由表2摩擦系数可知，所有Ta N涂层的摩擦系数都在0.68～0.70左右，不同涂层间的摩擦系数基本一致。相比较未通N2，通入N2后所有Ta N涂层的磨损率得到明显的减小，表明N元素的掺杂使涂层的耐磨性明显提高，且随着N元素的增加，Ta N涂层的磨损率逐渐减小。