《表2 拉曼光谱结果：石墨靶溅射时间对Ta-C涂层性能的影响》

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《石墨靶溅射时间对Ta-C涂层性能的影响》

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为了进一步验证石墨靶溅射时间从40 min到80 min制备的Ta-C涂层中sp3含量的变化，对拉曼光谱图进行拟合之后高斯分峰，分出D峰和G峰。高斯分峰之后得溅射时间40 min到80 min制备的Ta-C涂层的D峰位置、G峰位置、D峰半峰宽数值、G峰半峰宽数值以及I（D）/I（G）的比值如表2所示。从表可见，D峰位置在1390 cm-1左右浮动，G峰位置在1560 cm-1左右浮动，证明拟合、高斯分峰得到的数据具有有效性。