《表1 FCC结构的Al、Cr、Ta、Ti、Zr、Mo氮化物及AlCrTaTiZrMo氮化物在 (111) 及 (220) 晶面各自的衍射角度》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《AlCrTaTiZrMo高熵合金氮化物扩散阻挡层的制备与表征》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

样品Cu/HEAN/Si及HEAN/Si在退火前和不同退火时间后的XRD图谱如图1和图2所示。图1中衍射角度43.4°和50.6°分别对应Cu（FCC）结构的（111）、（200）衍射峰。（111）衍射峰强度明显较其他平面高，显示Cu具有（111）择优取向。当退火时间为1 h时，衍射峰强度增加，且变得尖锐，这是由于Cu膜的晶粒长大所导致[14]。随着退火时间的增加，当退火时间分别为3、5、7 h时，衍射图谱未发生明显变化，未发现铜硅或其他化合物信号。在7 h退火时间下，高熵合金氮化物薄膜仍能保持良好的扩散阻挡性。在图2中，当薄膜为沉积态时，无任何衍射峰，仅有宽且低的馒头峰，表明薄膜此时为非晶结构。非晶结构没有晶界，能够有效地消除快速扩散的通道，从而达到阻挡作用。相比单晶结构昂贵的生产费用，非晶薄膜成为了阻挡层的首选材料[17]。当退火时间为1 h时，仍然无任何衍射峰出现。随着退火时间的增加，当退火时间为5、7 h时，37°的衍射峰变得更加明显。同时在62°出现了新的衍射峰，其角度值见表1。同FCC结构的AlN、CrN、TaN、TiN、ZrN、Mo2N在（111）和（220）位置的平均衍射角十分接近，表明HEAN薄膜形成了有着简单FCC结构的混合固溶体。然而其衍射峰仍较宽，表明薄膜内部存在非晶和FCC纳米晶的混合结构[2，15]。