《表1 退火前后Al Cr Nb Si Ti V高熵合金氮化薄膜的元素组成》

《表1 退火前后Al Cr Nb Si Ti V高熵合金氮化薄膜的元素组成》   提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《退火对磁控溅射AlCrNbSiTiV高熵合金氮化薄膜性能的影响》


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EDS测定的退火前后薄膜元素成分见表1，磁控溅射产生了（AlCrNbSiTiV）50N50结构的薄膜，退火前后元素含量基本保持稳定。

图表编号XD00130454300    严禁用于非法目的
绘制时间2020.03.15
作者万松峰、丁佳伟
绘制单位东莞职业技术学院机电工程系、东莞职业技术学院机电工程系
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