《表1 试验因素与水平：高熵合金AlCrNbSiTiV氮化物薄膜溅镀参数的优化》

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《高熵合金AlCrNbSiTiV氮化物薄膜溅镀参数的优化》

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采用田口方法分析沉积时间、基材偏压、溅镀功率和基材温度对溅镀薄膜的沉积速率、薄膜硬度和刀具切削性能的影响，然后通过灰色关联实现多目标的优化。各因子的取值和水平见表1，L9（34）四因素三水平正交表见表2。