《表3 TaWTiVCr高熵合金薄膜的粗糙度》

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《TaWTiVCr高熵合金薄膜的制备及微观结构、力学性能研究》

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图3中给出了Ta37W36Ti8V11Cr8、Ta10W10Ti24V26Cr29等6组样品的形貌特性。每组样品通过AFM进行表面形貌采集，并计算粗糙度，薄膜的平均粗糙度（Ra）、均方粗糙度（Rq）和最大粗糙度（Rmax）结果如表3所示。