《表3 不同溅镀功率下制成的薄膜的压痕测试结果》

《表3 不同溅镀功率下制成的薄膜的压痕测试结果》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《高功率脉冲磁控溅射沉积(AlCrNbSiTiV)N薄膜提升刀具的切削性能》


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用纳米压痕仪对不同溅镀功率产生的(AlCrNbSiTiV)N薄膜进行试验,以相同的10 mN压力将针头压在各块薄膜的表面,对硬度(H)、弹性模量(E)、hmax、hr等参数进行记录,结果如图4和表3所示。可见溅镀功率越大,薄膜的硬度越大。另外,H3/E2值也逐渐上升,最小值为0.649 215,充分表明(AlCrNbSiTiV)N薄膜具有很好的抵抗塑性变形的能力[2]。从压力-位移曲线可以看出,不同溅镀功率下所制薄膜的Re都比较接近,至少有74.43%,表明它们均有非常良好的弹性恢复性能。