《表1 Al N的物理性质》
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本文结合国内外Al N系硬质薄膜的最新研究成果以及应用情况，对Al N系硬质薄膜的研究进展进行了综述。Al N的主要物理性质见表1。
| 图表编号 | XD00146790000 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.05.15 |
| 作者 | 张驰、张钧、彭立静、曲梓萌 |
| 绘制单位 | 沈阳大学机械工程学院、沈阳大学机械工程学院、沈阳大学机械工程学院、沈阳大学机械工程学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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